Die UDOX ist ein Time Dependent Dielectric Breakdown (TDDB) Testsystem
bestehend
aus vier Burn-In Öfen mit integrierter Messelektronik in kompakter
Bauweise.
Die Messelektronik besteht aus Präzisionsspannungsquellen und Vielfach-Amperemetern.
Je
zwei Messelektroniken sind über ein Backplane mit Edge-Connectors
auf ein
Device under test (DUT) – Board im Burn-In Ofen geschaltet. Je Ofen
sind zwei DUT-Boards
untergebracht.
Um Beeinflussungen zwischen unterschiedlichen Teststrukturen zu
verhindern, besitzt jede Teststruktur ein eigenes unabhängiges aktives
Amperemeter. Die
Strombereiche werden ohne Beeinflussung der angelegten Spannung umgeschaltet.
Zur
Sicherheit ist eine hardwaremäßige Strombegrenzung auf 1,5mA
vorgesehen.
Die Anlage
kommuniziert intern über RS 485 und extern mit dem PC über RS 232 – Schnittstellen.
Durch den modularen kompakten Aufbau eignet sich das Gerät bestens
zur Lebensdauer
Charakterisierung von Oxid – Strukturen.
Einstell- und Messbereiche:
· - Spannung von +/-1mV bis +/-200V
· - Strom von 1nA bis 1mA
· - Temperatur: 25 bis 230°C
Der Testablauf läuft vollkommen autonom in den UDOX source measure
units
(SMU’s) ab.
Pro Kanal können bis zu 13 500 Messpunkte lokal
zwischengespeichert werden.
Das Testsystem wird von einem Personal-Computer mit Windows Betriebssystem
gesteuert.
Mithilfe der mitgelieferten Systemsoftware können beliebige Spannungsrampen
erstellt,
ausgeführt und analysiert werden. Die Datenübertragung wird
vom PC getriggert. |
